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物理学院、相对论天体物理重点实验室、广西光学学会学术报告

编辑:     编辑:     来源:太阳集团游戏网站   发表于: 2015-03-23 00:00  点击:
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报告人概况:

刘世元,教授,博士生导师,教育部“新世纪优秀人才支撑计划”入选者。1998年毕业于华中理工大学机械制造专业,2000至2001年赴英国曼彻斯特大学进行为期1年的访问与客座研究。2002年至2005年在上海微电子装备有限企业及国家光刻工程技术研究中心,从事国家863重大专项“100nm分辨率步进扫描投影光刻机”的攻关研制。现任华中科技大学机械科学与工程学院教授、数字制造装备与技术国家重点实验室教授、武汉光电国家实验室(筹)微纳制造研究部教授、博士生导师。最近承担了国家重大科学仪器设备开发专项“宽光谱广义椭偏仪设备开发”,研制了一种广义椭偏仪,在纳米阵列结构的薄膜测量中获得了广泛应用。

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